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    電漿氧化製備銅氧化物及銅-二氧化矽複合材料之太陽能選擇性吸收膜之性質研究
    • 材料科學與工程系 /97/ 碩士
    • 研究生: 陳枝政 指導教授: 周賢鎧 朱瑾
    • 本論文使用磁控式濺鍍系統沈積為薄膜生成的主要製程,結合製程技術快速且低氧化溫度之電漿氧化製程,製備本實驗所需之太陽能選擇性吸收膜,並探討其吸收膜之光學性質及結晶結構。第一部份實驗為沈積一層Cu薄膜在…
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